1 ：2020/06/22(月) 00:52:59
韓国のSKマテリアルズは17日、半導体の生産工程で使うフッ化水素ガスの量産を始めたと発表した。一定水準の高純度を実現し、サムスン電子やSKハイニックスが導入するという。日本が対韓輸出管理を厳格化した半導体関連材料で韓国勢の国産化が進んでいる。
韓国東部の栄州（ヨンジュ）市の工場で量産を開始した。SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。
韓国東部の栄州（ヨンジュ）市の工場で量産を開始した。SKマテリアルズによると、量産を実現したフッ化水素ガスの純度は99.999%で「ファイブナイン」と呼ぶ純度。
日本の素材メーカーが輸出してきた9が11個並ぶ超高純度の「イレブンナイン」と比べて品質は劣るものの、半導体ウエハーの洗浄など生産工程の一部で導入が始まったとしている。
日本製フッ化水素 イレブンナイン
純度９９．９９９９９９９９９％
韓国製フッ化水素 ファイブナイン
純度９９．９９９％
日経新聞 2020/6/17 15:00
https://www.nikkei.com/article/DGXMZO60442800X10C20A6FFE000/